半导体纳米异质外延应变研究[EB/OL]
北京：中国科技论文在线
本文系统阐述了异质外延、位错理论
得到的结果经分析后符合异质外延的应变弛豫机制
研究发现异质外延体系弛豫后
） 摘要： 半导体异质外延研究是半导体科学中的一个重要内容
可以得到弛豫前的应变能等于弛豫后位错能和剩余应变能之和
关键词： 半导体纳米异质外延
系统的能量包含两部分：位错能和剩余应变能
由系统弛豫前后能量守恒
本文通过计算无限大衬底和有限衬底上的小尺寸外延层中的应力分布
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