无源零差偏振激光干涉仪的误差研究Errors of Passive Homodyne Polarized Laser Interferometer

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 更新：2017-05-05

 标签： errorinterferometer偏振干涉仪误差

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无源零差偏振激光干涉仪的误差研究[EB/OL]

北京：中国科技论文在线

研究了用于纳米测量的偏振干涉仪的误差产生原因和作用机理

基于偏振移相技术的无源零差激光干涉仪其特征是输出四路相互正交的干涉信号

目的是为偏振干涉仪光学元件的选择、光路的调整及其误差的补偿提供依据

由于元件性能的不理想和调整的不完善使光束偏振态产生退化是导致干涉仪测量误差的主要原因

Yuan Libo 1, （ 1、 School of Science, Harbin Engineering University

2、 School of Science- Harbin Engineering University

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