磁控溅射制备纳米厚度的连续银膜[EB/OL]
北京：中国科技论文在线
薄膜表面的粗糙度随着溅射功率和厚度的增加有增大的趋势
薄膜的生长速率随着溅射功率的增大而呈线性增大趋势
薄膜表面的颗粒粒径随着溅射功率的增大而呈增大的趋势
） 摘要： 利用磁控溅射方法制备了纳米级厚度的银膜
原子力显微镜图像显示薄膜的生长方式呈岛状生长方式
测试结果表明：薄膜表面颗粒均匀、薄膜致密
男
男
【收录情况】 中国科技论文在线： 张彦彬
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