用于引线键合设备的线夹致动器设计[EB/OL]
北京：中国科技论文在线
结果表明设计的线夹致动器能满足全自动引线键合设备的使用要求
根据设计结果制作出压电双晶片线夹致动器并对其进行了实验研究
主要从事半导体装备设计与研究 通信联系人： 刘曰涛（1980-）
根据分析结果设计了致动片的三维结构
关键词： 引线键合
超声焊线机引线线夹是IC/LED键合设备中控制引线输送的关键部件
分析了致动片在实际工作电压下的位移变化情况
用于引线键合设备的线夹致动器设计Design of wire clamp for wire bonding equipment
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