Mo离子注入和离子渗硫对TiN涂层微观结构和表面性能的影响[EB/OL]
北京：中国科技论文在线
接着采用低温离子渗流技术对Mo离子注入改性后的TiN涂层进行表面后处理
低温离子渗硫后处理并不能使会使Mo离子注入TiN涂层的摩擦学性能进一步改善
Mo离子大剂量注入后可以在摩擦磨损前和过程中TiN涂层表面形成更多的Ti氧化物和Mo氧化物
低温离子渗硫对Mo离子注入后的TiN涂层溅射明显
TiN涂层经过大剂量Mo离子注入后
主要研究方向：机械零件表面工程和摩擦学 【收录情况】 中国科技论文在线： 王成彪
） 摘要： 在物理气相沉积的TiN涂层表面进行剂量为1E18离子/cm2的Mo离子注入
【详情见下载】
