Si－TiNx和TiNx－Cu界面反应驱动力热力学分析The thermodynamic analysis of the driving forces for the interfacial reactions at Si-TiNx and TiNx-Cu interfaces

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Si－TiNx和TiNx－Cu界面反应驱动力热力学分析[EB/OL]

北京：中国科技论文在线

TiNx－Cu界面可通过原子之间的扩散达到两相平衡关系

Ma Xiaoyan 3, （ 1、 School of Materials Science and Engineering, University of Science and Technology Beijing,

分别在Ti-Si-N和Ti-Cu-N三元系分析Si－TiNx和TiNx－Cu界面反应驱动力

Si－TiNx界面反应序列中会析出一系列新相

热力学 Li Changrong 1,*

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