脉冲偏压磁过滤电弧离子镀TiN薄膜的组织结构及耐磨性[EB/OL]
北京：中国科技论文在线
） 摘要： 利用脉冲偏压磁过滤电弧离子镀在高速钢（M2）基底上制备了厚约2
5μm的TiN薄膜
脉冲偏压磁过滤电弧离子镀制备的TiN薄膜表现出很好的减摩和耐磨性能
TiN薄膜表面光滑致密
显微硬度计和球盘摩擦磨损试验机对比考察TiN薄膜和M2高速钢基体的硬度和耐磨性
脉冲偏压磁过滤电弧离子镀TiN薄膜的组织结构及耐磨性Microstructure and Wear Resistance of TiN film by Pulsed Bias and Magnetic Filtered Arc Ion Plating
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