ZnO薄膜晶体管的制备及电学特性表征The fabrication of ZnO TFT and characterization of the electric property

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 更新：2017-02-18

 标签： tftzno制备晶体管特性

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ZnO薄膜晶体管的制备及电学特性表征[EB/OL]

北京：中国科技论文在线

有利于我们进一步对ZnO薄膜晶体管的特性及制备工艺对特性影响进行研究

其结果显示以ZnO薄膜作为薄膜晶体管的有缘层

以SiO2作为栅绝缘层所制备的ZnO薄膜晶体管

此文的内容是我们对ZnO薄膜晶体管研究的基础

3、 School of Physics and Optoelectronic Technology, Dalian University of Technology, Dalian

2、 School of Physics and Optoelectronic Technology, Dalian University of Technology, Dalian, Liaoning,

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