软脆功能晶体碲锌镉高效精密磨削[EB/OL]
北京：中国科技论文在线
研磨和化学机械抛光的时间为162分钟
研磨和抛光后的加工表面粗糙度更低
也同时采用了研磨与化学机械抛光的方法对碲锌镉单晶片进行了抛光研究
精密磨削和抛光后的表面粗糙度Ra分别为5
845 nm和1
478 nm
精密磨削表面均匀、光滑、没有任何的微裂纹和嵌入
软脆功能晶体碲锌镉高效精密磨削High-Efiiciency and Precision Grinding of Soft-Brittle CdZnTe Single Crystals
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