BI Yuchao 2, （ 1、 School of Mechanical Engineering, Shandong University, Jinan 250061
分析了走丝速度和工件进给速度对KDP晶体表面缺陷特征的影响
毕文波等
树脂结合剂金刚石线锯切割KDP晶体表面缺陷分析[EB/OL]
北京：中国科技论文在线
使用扫描电子显微镜对KDP晶体锯切的表面缺陷进行了分析
3、 高效洁净机械制造教育部重点实验室（山东大学）
2、 高效洁净机械制造教育部重点实验室（山东大学）
其分析结果为获得高质量的锯切表面
分析发现线锯锯切的晶片表面缺陷主要有呈锯齿状形态的沟槽、表面破碎、划痕、橘皮状的外观、凹坑、以及锯切表面嵌入脱落磨粒和切屑
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