一种正交轴系微球全表面定位方法及转位精度分析[EB/OL]
北京：中国科技论文在线
并分析了主、辅正交轴系操作微球转位的转位精度
首先分析了主、辅正交轴系转位的定位原理
3、 哈尔滨工业大学精密工程研究所,哈尔滨 150001
（ 1、 哈尔滨工业大学精密工程研究所
精密回转主轴系、辅助转位轴系、微动工作台、负压吸附气路等组成的系统
此方法及装置还可以实现微球圆周测量及微加工时所需的各种球面轨迹
一种正交轴系微球全表面定位方法及转位精度分析A method of micro-sphere whole spherical position base on orthogonal shafting and its positioning accuracy analysis
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