一种基于形貌配准分析的精密主轴回转精度检测方法[EB/OL]
北京:中国科技论文在线
) 摘要: 提出了一种基于运动图像配准分析的主轴回转误差检测新方法
应用原子力显微镜(AFMM)探针作为传感器建立了精密主轴回转误差测量纳米精度实验系统
DONG Shen 2, ( 1、 Center for Precision Engineering, Harbin Institute of Technology, Harbin 150001
孙涛 2
2、 哈尔滨工业大学精密工程研究所
( 1、 哈尔滨工业大学精密工程研究所
本方法及相应的实验系统有望成为一种原理简单、适用性广的解决精密轴系回转误差测试问题的新途径
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